[实用新型]一种喷淋蚀刻机有效
| 申请号： | 201721571466.2 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207619529U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 沈慕禹 | 申请（专利权）人： | 绍兴华立电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市袍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种喷淋蚀刻机，包括机体，所述机体包括处于上端的蚀刻区、第一清洗区、第二清洗区和位于机体下端的底层区，所述蚀刻区、第一清洗区第二清洗区与所述底层区之间通过隔板隔开，所述机体内部还设置有传送装置，传送装置由传送滚筒和传送电机组成，且所述传送滚筒贯穿蚀刻区、第一清洗区和第二清洗区，传送滚筒的上端设置有托盘，蚀刻区的顶端安装有第一输液管，蚀刻区底端左侧设置有废液出口，所述废液出口上安装有第一阀门，所述蚀刻区与所述第一清洗区通过第一挡板隔开，所述第一清洗区的上端安装有第二输液管。该喷淋蚀刻机，通过多次清洗，清洗干净彻底，解决了废液残对管道损害，同时移动方便。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗区 蚀刻区 传送滚筒 上端 蚀刻机 喷淋 传送装置 废液出口 底层区 输液管 清洗 本实用新型 托盘 传送电机 第一挡板 顶端安装 机体内部 移动方便 隔板隔 底端 阀门 废液 隔开 贯穿 损害 | ||
【主权项】：
1.一种喷淋蚀刻机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)包括处于上端的蚀刻区(3)、第一清洗区(5)、第二清洗区(6)和位于机体(1)下端的底层区(4)，所述蚀刻区(3)、第一清洗区(5)第二清洗区(6)与所述底层区(4)之间通过隔板(17)隔开，所述机体(1)内部还设置有传送装置(30)，传送装置(30)由传送滚筒(23)和传送电机(24)组成，且所述传送滚筒(23)贯穿蚀刻区(3)、第一清洗区(5)和第二清洗区(6)，传送滚筒(23)的上端设置有托盘(11)，蚀刻区(3)的顶端安装有第一输液管(12)，蚀刻区(3)底端左侧设置有废液出口(9)，所述废液出口(9)上安装有第一阀门(10)，所述蚀刻区(3)与所述第一清洗区(5)通过第一挡板隔开，所述第一清洗区(5)的上端安装有第二输液管(15)，所述第二清洗区(6)与第一清洗区(5)之间通过第二挡板(29)隔开，所述第二清洗区(6)上端安装有第三输液管(16)，所述底层区(4)包括化学蚀刻药液罐(7)、第一水箱(26)、第二水箱(20)和第三水箱(18)。
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