[实用新型]一种吊装式谐振腔装置有效
| 申请号： | 201721552921.4 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN207368195U | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 逄立飞;邓建华;董宇亮;王凯 | 申请（专利权）人： | 四川中测微格科技有限公司 |
| 主分类号： | H01P7/10 | 分类号： | H01P7/10 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 田甜 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种吊装式谐振腔装置，包括仅上端面成开口状的谐振腔、位于谐振腔上方的上盖板、用于控制谐振腔上下移动的驱动结构，所述上盖板通过吊装结构吊装在真空室的内顶部，所述上盖板的下表面上设置有用于对谐振腔移动限位的限位装置。本方案谐振腔采用上端面开口结构，与上盖板之间采用分体式结构，通过驱动结构施加压力的方式使谐振腔腔体和一体化盖板紧密结合，整个谐振腔结构不需要螺钉固定，既可以使谐振腔腔壁降低，又可以避免螺钉滑丝；整个结构省去了螺钉的使用降低了谐振腔的壁厚，降低了谐振腔加工难度，合理分配重量，避免因为自重引起的滑丝等不良现象，提高了测试结构重复使用次数，降低了单次测试均摊的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吊装 谐振腔 装置 | ||
【主权项】：
1.一种吊装式谐振腔装置，其特征在于，包括仅上端面成开口状的谐振腔(4)、位于谐振腔(4)上方的上盖板(3)、用于控制谐振腔(4)上下移动的驱动结构，所述上盖板(3)通过吊装结构吊装在真空室(1)的内顶部，所述上盖板(3)的下表面上设置有用于对谐振腔(4)移动限位的限位装置(7)。
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