[实用新型]一种风淋室有效
申请号: | 201721535013.4 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN208131583U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 宋海龙;沈海东;张星 | 申请(专利权)人: | 吴江振达净化工程有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 孙晓宇 |
地址: | 215121 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供的一种风淋室,包括箱体、风机、进出单门、若干气体喷嘴以及设置在所述箱体内部的静压箱,所述箱体一侧壁上均匀设置所述气体喷嘴;所述箱体其余侧壁上分别设置所述进出单门;所述静压箱的出口与所述气体喷嘴连通,所述风机设置在所述静压箱的进口处。使用本实用新型提供的风淋室,实现从非洁净区域进入多个独立的洁净区域,提高单个风淋室的利用率,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 风淋室 气体喷嘴 静压箱 本实用新型 洁净区域 单门 风机设置 均匀设置 箱体内部 进口处 风机 侧壁 连通 出口 | ||
【主权项】:
1.一种风淋室,其特征在于,包括箱体、风机、进出单门、若干气体喷嘴以及设置在所述箱体内部的静压箱,所述箱体一侧壁上均匀设置所述气体喷嘴;所述箱体其余侧壁上分别设置所述进出单门,其中一扇进出单门与非洁净区域连通,另外两扇进出单门与两个独立的洁净区连通;所述静压箱的出口与所述气体喷嘴连通,所述风机设置在所述静压箱的进口处。
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