[实用新型]一种三维磁场探针台

摘要

本实用新型公开了一种三维磁场探针台，包括支架、线圈、CCD镜头、样品台、探针和样品盘，所述支架上安装有线圈，线圈由最内层小线圈、中间层线圈和最外层大线圈组成，所述支架上安装有位移平台和CCD镜头支架，CCD镜头支架上安装有CCD镜头，所述位移平台上安装有探针座和探针座移动孔；所述位移平台上安装有X方向位移手柄、样品台、旋转手柄和Y方向位移手柄；采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作；可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。

主权项

1.一种三维磁场探针台，包括支架(1)、线圈(2)、CCD镜头(6)、样品台(14)、探针(21)和样品盘(25)，其特征在于，所述支架(1)上安装有线圈(2)，线圈(2)由最内层小线圈(9)、中间层线圈(10)和最外层大线圈(11)组成，所述支架(1)上安装有位移平台(4)和CCD镜头支架(5)，CCD镜头支架(5)上安装有CCD镜头(6)，所述位移平台(4)上安装有探针座(7)和探针座移动孔(8)；所述位移平台(4)上安装有X方向位移手柄(12)、样品台(14)、旋转手柄(15)和Y方向位移手柄(16)，所述样品台(14)上安装有第一级滑块(18)和第二级滑块(19)，所述样品台(14)上设有旋转标尺(23)和固定标尺(24)，所述探针座(7)上安装有探针(21)，探针(21)下方设有压片(22)。