[实用新型]一种薄膜材料制备装置有效
| 申请号： | 201721512009.6 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN207452253U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李克训;马江将;张晗;赵亚丽;谷建宇;贾琨 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十三研究所 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030032 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜材料制备技术领域，更具体而言，涉及一种薄膜材料制备装置，该装置包括上容器、下容器和衬底支架，所述上容器通过转移装置与下容器连通，所述上容器与下容器之间存在高度差，所述转移装置包括转移管道和流量控制装置，所述流量控制装置设置在转移管道上，所述衬底支架放置在上容器内，所述转移管道上设有抽取装置，所述抽取装置包括带有活塞杆的抽筒，抽筒上设有进口和出口。本实用新型基于溶胶‑凝胶制备薄膜材料的简易成膜装置搭建原理和方法，借助重力作用和液面下降，通过上容器、转移装置和下容器三部分组成成膜装置，来实现溶胶‑凝胶制备薄膜材料，并且通过模块化组合与装配可以实现不同尺寸规格的薄膜材料制备。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜材料 上容器 下容器 转移装置 制备 流量控制装置 本实用新型 衬底支架 成膜装置 抽取装置 制备装置 抽筒 凝胶 制备技术领域 进口和出口 模块化组合 液面下降 重力作用 高度差 活塞杆 连通 装配 简易 | ||
【主权项】：
一种薄膜材料制备装置，其特征在于：包括上容器（1）、下容器（2）和衬底支架（3），所述上容器（1）通过转移装置（4）与下容器（2）连通，所述上容器（1）与下容器（2）之间存在高度差，所述转移装置（4）包括转移管道（5）和流量控制装置（6），所述流量控制装置（6）设置在转移管道（5）上，所述衬底支架（3）放置在上容器（1）内。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
