[实用新型]一种硅片干燥装置有效
| 申请号： | 201721502744.9 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN207515401U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张洪旺;史卫利 | 申请（专利权）人： | 无锡帝科电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/04 | 分类号： | F26B11/04;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214203 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片干燥装置，包括支架，转轴，吸附装置，风扇，电机和齿轮，所述转轴两端设置在支架上，齿轮设置在转轴上，电机与齿轮啮合，所述吸附装置设置在转轴上，吸附装置包括主体，抽气头，连接孔，气流通道，多根吸管和多个安装面，所述连接孔设置在主体侧面，抽气头与连接孔连通，所述气流通道设置在主体中且经过安装面，所述吸管设置在安装面上，吸管包括吸口和连接口，连接口设置在安装面上且与气流通道连通，所述吸口朝向主体外部，每个安装面设有多根吸管，多根吸管间隔且平行设置，所述风扇设置在主体上方。本实用新型使硅片转动，从而使不同硅片均能够与硅片充分接触，提升干燥效率。 | ||
| 搜索关键词： | 吸管 气流通道 吸附装置 安装面 连接孔 硅片 转轴 本实用新型 硅片干燥 抽气头 连接口 齿轮 吸口 支架 连通 电机 齿轮啮合 充分接触 风扇设置 干燥效率 平行设置 主体侧面 主体外部 转轴两端 风扇 转动 | ||
【主权项】：
1.一种硅片干燥装置，其特征在于，包括支架，转轴，吸附装置，风扇，电机和齿轮，所述转轴两端设置在支架上，齿轮设置在转轴上，电机与齿轮啮合，所述吸附装置设置在转轴上，吸附装置包括主体，抽气头，连接孔，气流通道，多根吸管和多个安装面，所述连接孔设置在主体侧面，抽气头与连接孔连通，所述气流通道设置在主体中且经过安装面，所述吸管设置在安装面上，吸管包括吸口和连接口，连接口设置在安装面上且与气流通道连通，所述吸口朝向主体外部，每个安装面设有多根吸管，多根吸管间隔且平行设置，所述风扇设置在主体上方。
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