[实用新型]一种多晶硅铸锭炉热场有效
| 申请号： | 201721500521.9 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN208023107U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 朱松涛;郭晓萌;郭彦峰;冯立学;郭宽新 | 申请（专利权）人： | 苏州晶樱光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 曹成俊 |
| 地址： | 215614 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种温度梯度小、加热均匀的多晶硅铸锭炉热场，包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱，石墨支撑柱上设有热交换机构，热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台，热交换平台上设有加热坩埚，加热坩埚上设有盖板，热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板，石墨护板外侧下部设有安装槽，安装槽中填设有保温毡，石墨护板外周套设有侧部加热器，侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体，加热单体包括若干U形部，相邻U形部上部之间设有上连接部，加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部，炉体内在盖板上方设有顶部加热器。 | ||
| 搜索关键词： | 热交换 加热单体 石墨支撑柱 加热坩埚 石墨 护板 多晶硅铸锭炉 侧部加热器 安装槽 盖板 热场 外周 体内 本实用新型 顶部加热器 侧连接部 加热均匀 上连接部 温度梯度 保温毡 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭炉热场，其特征在于：包括设置在炉体内下部的若干石墨支撑柱，石墨支撑柱上设有热交换机构，热交换机构包括设置在石墨支撑柱上的热交换平台，热交换平台上设有加热坩埚，加热坩埚上设有盖板，热交换平台上在加热坩埚外周设有一圈石墨护板，石墨护板外侧下部设有安装槽，安装槽中填设有保温毡，石墨护板外周套设有侧部加热器，侧部加热器包括至少两个连接在一起的加热单体，加热单体包括若干U形部，相邻U形部上部之间设有上连接部，加热单体上最外侧的U形部上设有与相邻加热单体相连接的侧连接部，所述侧连接部由石墨制成，炉体内在盖板上方设有顶部加热器；热交换机构外周设有将热交换机构整体包覆的保温装置。
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