[实用新型]硅片清洗系统有效
| 申请号： | 201721488762.6 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN207507912U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;张浩强;李立伟;张稳 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/14 | 分类号： | B08B3/14;B08B3/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王丽巧 |
| 地址： | 054001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型适用于硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗系统。包括：硅片清洗机、硅片脱胶机、蓄水池、水泵和用于污水处理的沉淀池，硅片清洗机的出水口通过第一管路连接蓄水池的进水口，蓄水池的出水口通过第二管路连接水泵的进水口，水泵的出水口通过第三管路连接硅片脱胶机的进水口，硅片脱胶机的出水口通过第四管路连接沉淀池的进水口。采用上述方案后，能将硅片清洗机中排掉的水存储到蓄水池中供硅片脱胶机再利用，同时还能降硅片脱胶机排掉的水进行沉淀再处理形成新水，循环利用水资源，能减少水源的浪费，同时减少工厂的开支。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片脱胶机 管路连接 出水口 进水口 蓄水池 硅片清洗机 水泵 硅片清洗系统 沉淀池 本实用新型 硅片清洗 循环利用 水存储 再处理 再利用 新水 沉淀 污水处理 水资源 水源 | ||
【主权项】：
1.一种硅片清洗系统，其特征在于，包括：硅片清洗机、硅片脱胶机、蓄水池、水泵和用于污水处理的沉淀池，所述硅片清洗机的出水口通过第一管路连接所述蓄水池的进水口，所述蓄水池的出水口通过第二管路连接所述水泵的进水口，所述水泵的出水口通过第三管路连接所述硅片脱胶机的进水口，所述硅片脱胶机的出水口通过第四管路连接所述沉淀池的进水口。
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