[实用新型]自调节光罩及光罩弯曲校正系统有效
| 申请号： | 201721460272.5 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN207408741U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 章勇;黄顺宏;闫明超;罗卫;朱广飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 张秋红;王少虹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自调节光罩及光罩弯曲校正系统，自调节光罩包括光罩板以及一侧开放的弯曲补偿单元，所述光罩板密封在所述弯曲补偿单元的开放侧，所述光罩板和弯曲补偿单元之间的密闭空间形成一个负压室。本实用新型的自调节光罩，将弯曲补偿单元和光罩板密封连接成一个整体的双层结构，两者之间的密闭空间形成一个负压室，在光罩板置于光罩台上、移动等情况下因自身重力作用会产生一定量的下垂时，通过负压室产生的负压对光罩板产生一个向上的吸附力，对光罩板的下垂量进行补正，保证光罩板在曝光过程不会弯曲。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩 光罩板 弯曲补偿 负压室 本实用新型 密闭空间 弯曲校正 罩板 自身重力作用 密封连接 曝光过程 双层结构 吸附力 下垂量 下垂 补正 负压 密封 开放 移动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种自调节光罩，其特征在于，包括光罩板（10）以及一侧开放的弯曲补偿单元（20），所述光罩板（10）密封在所述弯曲补偿单元（20）的开放侧，所述光罩板（10）和弯曲补偿单元（20）之间的密闭空间形成一个负压室；所述弯曲补偿单元（20）上设有连通所述负压室的抽真空接口（30）。
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