[实用新型]一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置

摘要

本实用新型公开了一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，包括抛光装置、第一药液桶、抽液装置和第二药液桶，所述输液管与抽液装置连接在一起，且抽液装置通过管道与两侧的第一药液桶和第二药液桶相连接，所述抛光装置与抛光液回流管相连接，且抛光液回流管上端固定有第三控制阀，所述抛光液回流管上开设有槽口，所述过滤槽内部设置有滤芯，且过滤槽下方设置有第二控制阀。该提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，采用双桶切换使用对机台供给抛光液，在其中一个药桶寿命快到的时候提前对另一药桶更换药液，到时间时进行切换节省了因换药液停机的时间，提高员工的工作效率，使得员工作业时间得到更为合理的安排。 1

主权项

1.一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，包括抛光装置(1)、第一药液桶(5)、抽液装置(8)和第二药液桶(11)，其特征在于：所述抽液装置(8)与输液管(9)连接在一起，且抽液装置(8)通过管道与两侧的第一药液桶(5)和第二药液桶(11)相连接，所述第一药液桶(5)通过管道与抛光装置(1)相连接，且第二药液桶(11)通过管道与抛光装置(1)相连接，所述抛光装置(1)与抛光液回流管(2)相连接，且抛光液回流管(2)上端固定有第三控制阀(14)，所述抛光液回流管(2)上开设有槽口(13)，且槽口(13)上安装有过滤槽(4)，所述过滤槽(4)内部设置有滤芯(3)，且过滤槽(4)下方设置有第二控制阀(12)。

2.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，其特征在于：所述抛光液回流管(2)上开设有两个槽口(13)，且槽口(13)上均安装有内部带有滤芯(3)的过滤槽(4)，同时两个过滤槽(4)下方与第一药液桶(5)和第二药液桶(11)上端相对应。

3.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，其特征在于：所述抛光液回流管(2)下方设置的槽口(13)上安装的过滤槽(4)为可拆卸结构，且过滤槽(4)内部安装的滤芯(3)为开拆卸清洗结构。

4.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，其特征在于：所述第一药液桶(5)和第二药液桶(11)侧面均安装有液位监测管(10)，且第一药液桶(5)和第二药液桶(11) 下方均安装有底部相连通的废液收集接口(7)，同时第一药液桶(5)和第二药液桶(11)下方管道上安装有第一阀门(6)。

5.根据权利要求1所述的一种提高碳化硅晶体抛光的供给药液装置，其特征在于：所述第一药液桶(5)和第二药液桶(11)与抽液装置(8)相连接的管道上安装有控制阀，且第一药液桶(5)和第二药液桶(11)与抛光装置(1)相连接的管道上安装有控制阀。