[实用新型]一种应用于晶体生长炉的热屏装置有效
| 申请号： | 201721398765.0 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207877923U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 徐永亮;张国华;施海斌 | 申请（专利权）人： | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种应用于晶体生长炉的热屏装置，所述热屏装置为筒状结构，包括由外向内依次设置的外屏、保温层和内屏，所述保温层填充设置在所述外屏与内屏之间，所述热屏装置还包括设置在所述内屏内侧的水冷套，所述水冷套包括圆台形的套筒，生长的晶体穿设在所述套筒形成的中空腔中，所述套筒的侧壁包括由外向内依次设置的外壁和内壁，所述外壁和内壁形成密闭的通水腔，所述通水腔分别与进水管和出水管相连接，所述外壁与所述内屏之间形成空气夹层。本实用新型提供了一种自身能够有效散热、可提高晶体生长效率的应用于晶体生长炉的热屏装置。 | ||
| 搜索关键词： | 热屏装置 内屏 晶体生长炉 套筒 外壁 依次设置 由外向内 保温层 水冷套 通水腔 内壁 外屏 应用 本实用新型 晶体生长 空气夹层 筒状结构 有效散热 出水管 进水管 圆台形 中空腔 密闭 侧壁 填充 生长 | ||
【主权项】：
1.一种应用于晶体生长炉的热屏装置，所述热屏装置为筒状结构，包括由外向内依次设置的外屏(1)、保温层(4)和内屏(2)，所述保温层(4)填充设置在所述外屏(1)与内屏(2)之间，其特征在于：所述热屏装置还包括设置在所述内屏(2)内侧的水冷套(3)，所述水冷套(3)包括圆台形的套筒(33)，生长的晶体穿设在所述套筒(33)形成的中空腔中，所述套筒(33)的侧壁包括由外向内依次设置的外壁(331)和内壁(333)，所述外壁(331)和内壁(333)形成密闭的通水腔(332)，所述通水腔(332)分别与进水管(31)和出水管(32)相连接，所述外壁(331)与所述内屏(2)之间形成空气夹层。
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