[实用新型]一种基于数字微镜的ICP-AES色散检测装置有效
申请号: | 201721395775.9 | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN207336366U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 田地;李颖超;李春生;陶琛;周志恒 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | G01N21/73 | 分类号: | G01N21/73;G01N21/01 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基于数字微镜的ICP‑AES色散检测装置,该装置中,入射光通过入射狭缝后,经准直镜准直再入射到三棱镜,由三棱镜完成初次横向色散;中阶梯光栅对初次横向色散后的光进行分光,之后由三棱镜完成二次横向色散形成二维光谱;经三棱镜二次横向色散后的光经第一聚光镜聚焦到数字微镜表面;数字微镜反射的光再经第二聚光镜聚焦到光电倍增管。本实用新型具有以下特点:装置结构紧凑,成本较低;数字微镜作为空间光调制器,可以实现对光谱信号的快速选择,同时保留了光电倍增管高灵敏度的检测特性,能够满足电感耦合等离子体发射光谱的多元素快速同时分析的检测要求。 | ||
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【主权项】:
1.一种基于数字微镜的ICP-AES色散检测装置,其特征在于包括入射狭缝(7)、准直镜、三棱镜(9)、中阶梯光栅(10)、第一聚光镜、数字微镜(12)、第二聚光镜、光电倍增管(14);入射光通过入射狭缝(7)后,经准直镜准直再入射到三棱镜(9),由三棱镜(9)完成初次横向色散;中阶梯光栅(10)对初次横向色散后的光进行分光,之后由三棱镜(9)完成二次横向色散形成二维光谱;经三棱镜(9)二次横向色散后的光经第一聚光镜聚焦到数字微镜(12)表面;数字微镜(12)反射的光再经第二聚光镜聚焦到光电倍增管(14)。
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