[实用新型]一种用于正多边形晶片研磨的游星轮

摘要

本实用新型涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，包括同心设置的基体齿盘和旋环，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部圆周均布有若干正多边形孔，所述正多边形孔的每个顶角处均设置有夹杆，所述夹杆上设置有滑槽，所述滑槽内设置有扣柱，相邻顶角上的所述夹杆通过所述滑槽与所述扣柱相互连接，所述扣柱的数量与所述夹杆数量相同，均等于所述正多边形的边数，相邻所述扣柱之间设置有拉紧弹簧，所述旋环通过连杆与一个所述扣柱相连，所述旋环插扣于所述基体齿盘的中心。

主权项

一种用于正多边形晶片研磨的游星轮，其特征在于，包括：同心设置的基体齿盘（1）和旋环（2），所述基体齿盘（1）外圈设置有齿，所述基体齿盘（1）内部圆周均布有若干正多边形孔（11），所述正多边形孔（11）的每个顶角处均设置有夹杆（12），所述夹杆（12）上设置有滑槽（121），所述滑槽（121）内设置有扣柱（13），相邻顶角上的所述夹杆（12）通过所述滑槽（121）与所述扣柱（13）相互连接，所述扣柱（13）的数量与所述夹杆（12）数量相同，均等于所述正多边形的边数，相邻所述扣柱（13）之间设置有拉紧弹簧（14），所述旋环（2）通过连杆（21）与一个所述扣柱（13）相连，所述旋环（2）插扣于所述基体齿盘（1）的中心。