[实用新型]一种靶材厚度检验装置有效
申请号: | 201721350510.7 | 申请日: | 2017-10-19 |
公开(公告)号: | CN207423066U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 白秋云 | 申请(专利权)人: | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
主分类号: | G01B5/06 | 分类号: | G01B5/06 |
代理公司: | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人: | 薛波 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种靶材厚度检验装置,包括工作平台、矩形底板、第一水平板和第二水平板,所述工作平台上设置有多个均匀分布的螺纹孔,所述矩形底板包括通过螺栓固定在工作平台上的凹字型板和滑动板,所述凹字型板上设置有用于滑动板在凹字型板上滑动的矩形通槽,所述滑动板上设置有用于放置被检验靶材的凹槽,所述第一水平板和第二水平板均固定在凹字型板上,所述第一水平板相对于凹槽底面的距离与靶材的预设最大厚度相同,所述第二水平板相对于凹槽底面的距离与靶材的预设最小厚度相同。本实用新型的靶材厚度检验装置,该装置检验靶材过程简单快捷,而且不会出现人为因素造成的检测误差,为公司节约了更多的人力物力。 | ||
搜索关键词: | 靶材 水平板 凹字型 工作平台 检验装置 滑动板 本实用新型 矩形底板 预设 检测误差 矩形通槽 螺栓固定 人力物力 人为因素 螺纹孔 滑动 检验 节约 | ||
【主权项】:
1.一种靶材厚度检验装置,其特征在于,包括工作平台(1)、矩形底板(2)、第一水平板(3)和第二水平板(4),所述工作平台(1)上设置有多个均匀分布的螺纹孔(12),所述矩形底板(2)包括通过螺栓固定在工作平台(1)上的凹字型板(21)和滑动板(20),所述凹字型板(21)上设置有用于滑动板(20)在凹字型板(21)上滑动的矩形通槽(210),所述滑动板(20)上设置有用于放置被检验靶材的凹槽(200),所述第一水平板(3)和第二水平板(4)均固定在凹字型板(21)上,所述第一水平板(3)相对于凹槽(200)底面的距离与靶材的预设最大厚度相同,所述第二水平板(4)相对于凹槽(200)底面的距离与靶材的预设最小厚度相同。
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