[实用新型]绝对压力传感器装置和压差传感器装置有效
| 申请号： | 201721332342.9 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN207540710U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·J·塞登 | 申请（专利权）人： | 半导体元件工业有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L13/02;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 陈万青;姚开丽 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了绝对压力传感器和压差传感器装置。绝对压力传感器装置的实施方式可包括耦合在控制器裸芯之上的微机电系统(MEMS)绝对压力传感器。MEMS绝对压力传感器可机械耦合至控制器裸芯，也可配置为与控制器裸芯电耦合。控制器裸芯的周长与MEMS绝对压力传感器的周长相比可为相同尺寸和更长中的一种情况。控制器裸芯可配制为通过电连接件与模块电耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 绝对压力传感器 控制器 裸芯 压差传感器 电耦合 周长 本实用新型 微机电系统 电连接件 机械耦合 耦合 可配置 配制 | ||
【主权项】：
1.一种绝对压力传感器装置，包括：耦合在控制器裸芯之上的微机电系统绝对压力传感器，其中，所述微机电系统绝对压力传感器机械地耦合至所述控制器裸芯；其中，所述微机电系统绝对压力传感器也配制为与所述控制器裸芯电耦合；其中，所述控制器裸芯的周长与所述微机电系统绝对压力传感器的周长相比为相同尺寸和更长中的一种情况；和其中，所述控制器裸芯配置为通过电连接件与模块耦合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于半导体元件工业有限责任公司，未经半导体元件工业有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721332342.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高精度油压压力传感器
- 下一篇：一种输电杆塔风力荷载监测装置
