[实用新型]温压复合传感器

摘要

本实用新型公开了一种温压复合传感器，其特征在于：包括引压嘴、基座、弹性体、外壳、温敏电阻。所述弹性体表面通过离子束溅射工艺制造四个薄膜应变电阻形成惠斯通电桥，用于测量介质压力。所述弹性体表面贴上所述温敏电阻用于测量介质温度。由于将溅射薄膜压力传感器引压嘴与基座分开加工，并且，引压嘴加工有应力隔离槽，传感器在与介质压力测量管道连接时，扳手的机械扭矩和变形所产生的较大应力不会传导至压力传感器弹性体上，能确保传感器的测量精度和长期稳定性，同时增加经济实用的温敏电阻用于测量介质温度。这样能获得测量精度高、稳定性好、能同时测量温度的高性能温度压力复合传感器产品。

主权项

1.一种温压复合传感器，其特征在于：包括引压嘴(1)、基座(2)、弹性体(3)、外壳(4)、温敏电阻(5)；所述弹性体(3)表面通过离子束溅射工艺制造四个薄膜应变电阻形成惠斯通电桥，用于测量介质压力；所述弹性体(3)表面贴上所述温敏电阻(5)用于测量介质温度；所述引压嘴(1)中上部外侧加工有应力隔离槽(12)，以确保扳手的机械扭矩所产生的应力不会传导至所述弹性体(3)上从而保证传感器长期稳定工作。