[实用新型]一种石英舟清洗装置有效
| 申请号： | 201721325271.X | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN207628819U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 侯玉;齐素芳;张飞;苏梦;张瑞;张春华;衡阳;谢金晶;刘为方;郑旭然;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟清洗装置，包括槽体、底部支撑结构、中部支撑结构及循环装置，所述槽体的上端开口，用于盛放清洗药液；底部支撑结构设置于所述槽体的内部；中部支撑结构设置于所述槽体的内部并位于所述底部支撑结构的上方，所述中部支撑结构能够调整与所述底部支撑结构的相对位置，以向所述底部支撑结构上放置石英舟；所述底部支撑结构和所述中部支撑结构均用于支撑石英舟。该石英舟清洗装置可以分两层放置石英舟，提高一次清洗的石英舟个数，从而提高石英舟的清洗效率；通过设置循环装置，可以使清洗药液在槽体内循环流动，从而提高石英舟的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 石英舟 底部支撑结构 中部支撑 槽体 清洗装置 清洗药液 循环装置 本实用新型 结构设置 清洗效果 清洗效率 上端开口 体内循环 一次清洗 盛放 支撑 流动 | ||
【主权项】：
1.一种石英舟清洗装置，其特征在于，包括：槽体(1)，所述槽体(1)的上端开口，用于盛放清洗药液；底部支撑结构，设置于所述槽体(1)的内部；中部支撑结构(3)，设置于所述槽体(1)的内部并位于所述底部支撑结构的上方，所述中部支撑结构能够调整与所述底部支撑结构的相对位置，以向所述底部支撑结构上放置石英舟；所述底部支撑结构和所述中部支撑结构均用于支撑石英舟。
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