[实用新型]一种质谱仪前级真空室高压探针组件

摘要

本实用新型公开了一种质谱仪前级真空室高压探针组件，包括高压探针，用于固定且将高压探针套在内部的绝缘耐高压套管部件，与高压探针联结的电路板，前级真空室，压板，以及密封部件；与电路板联结的高压探针套入绝缘耐高压套管部件内且插入到前级真空室的腔室内，压板通过紧固件将电路板压紧密封部件且与前级真空室进行密封，密封部件位于电路板和前级真空室之间;本实用新型公开的质谱仪前级真空室高压探针组件，采用将高压探针和电路板等进行固定连接同时使用密封部件保证真空室的气密性，不仅能够很好的保证的工作效果，同时更具有良好的互换性。

主权项

一种质谱仪前级真空室高压探针组件，其特征在于,包括：高压探针，用于固定且将所述高压探针套在内部的绝缘耐高压套管部件，与所述高压探针联结的电路板，前级真空室，压板，以及密封部件；与所述电路板联结的所述高压探针套入所述绝缘耐高压套管部件内且插入到所述前级真空室的腔室内，所述压板通过紧固件将所述电路板压紧所述密封部件且与所述前级真空室进行密封，所述密封部件位于所述电路板和所述前级真空室之间。