[实用新型]电感耦合等离子体质谱仪高真空腔体

摘要

本实用新型提出了电感耦合等离子体质谱仪高真空腔体，包括主腔体，上盖板，密封部件，电路板和电路板压板；主腔体通过连接部件与上盖板连接，且上盖板在主腔体的上端，在主腔体与上盖板的连接处具有第一密封圈；在电路板与上盖板之间连接处具有密封圈，电路板压板通过锁紧部件与电路板锁紧；电路板压板与上盖板之间具有密封部件，电路板安装在密封部件内部;本实用新型由于采用不锈钢锁紧扣将上盖板压紧在主腔体上，且在中间设置密封部件，保证了上盖板和主腔体之间的密封性；另外，上盖板与电路板之间也同样通过密封部件进行密封，保证了仪器整体化设计，装配简单，智能化程度高，稳定性强，满足高真空要求并能实时读取真空状态等。

主权项

一种电感耦合等离子体质谱仪高真空腔体，其特征在于，包括：主腔体，上盖板，密封部件，电路板和电路板压板；所述主腔体通过连接部件与所述上盖板连接，且所述上盖板在所述主腔体的上端，在所述主腔体与所述上盖板的连接处具有第一密封部件；在所述电路板与所述上盖板之间连接处具有密封部件，所述电路板压板通过锁紧部件与所述电路板锁紧，或所述电路板压板与所述上盖板之间具有密封部件，所述电路板安装在所述密封部件内部。