[实用新型]一种曝光机有效
| 申请号： | 201721282428.5 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN207181952U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张康;渠谦;卢兵;徐钟国;房晓梅 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13;G02F1/1335;G02F1/1343 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机，包括光源，掩膜版，以及位于光源和掩膜版之间的光强调节器；其中，光强调节器，用于调节光源射向掩膜版上不同位置处的光线的光强。本实用新型实施例提供的上述曝光机，通过设置光强调节器，可以调节射向掩膜版上不同位置处的光线的光强，即可以根据实际需要调整不同位置处的曝光量，使形成的图案的线条更加均匀，而且无需重复制作掩膜版，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 | ||
【主权项】：
一种曝光机，其特征在于，包括：光源，掩膜版，以及位于所述光源和所述掩膜版之间的光强调节器；其中，所述光强调节器，用于调节所述光源射向所述掩膜版上不同位置处的光线的光强。
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