[实用新型]一种用于石墨热场系统的加热器有效
申请号: | 201721270222.0 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207468769U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 范桂林;李茂欣 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘君 |
地址: | 201611 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于石墨热场系统的加热器,包括固定底座,所述固定底座的顶端安装有加热器本体,加热器本体为中空结构,加热器本体的顶端连接有密封盖,加热器本体内安装有石墨坩埚,石墨坩埚内安装有石英坩埚,加热器本体的顶端开设有两个连接槽,密封盖的底端焊接有两个连接块,连接槽与连接块滑动连接,且连接块的一端延伸至连接槽外,加热器本体的两侧均开设有定位卡槽,定位卡槽与连接槽连通,定位卡槽内滑动安装有定位卡块,且定位卡块的一端延伸至定位卡槽外。本实用新型结构简单,使用方便,可以快速的对加热器本体和密封盖进行拆装,操作容易,缩短时间,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 加热器本体 定位卡槽 连接槽 加热器 本实用新型 定位卡块 固定底座 石墨热场 石墨坩埚 密封盖 顶端安装 顶端连接 工作效率 滑动安装 滑动连接 石英坩埚 中空结构 延伸 拆装 底端 封盖 焊接 连通 体内 | ||
【主权项】:
一种用于石墨热场系统的加热器,包括固定底座(1),其特征在于,所述固定底座(1)的顶端安装有加热器本体(2),加热器本体(2)为中空结构,加热器本体(2)的顶端连接有密封盖(3),加热器本体(2)内安装有石墨坩埚(4),石墨坩埚(4)内安装有石英坩埚(5),加热器本体(2)的顶端开设有两个连接槽(6),密封盖(3)的底端焊接有两个连接块(7),连接槽(6)与连接块(7)滑动连接,且连接块(7)的一端延伸至连接槽(6)外,加热器本体(2)的两侧均开设有定位卡槽(8),定位卡槽(8)与连接槽(6)连通,定位卡槽(8)内滑动安装有定位卡块(9),且定位卡块(9)的一端延伸至定位卡槽(8)外,定位卡块(9)位于定位卡槽(8)外的一端焊接有拉板(10),定位卡块(9)外套设有弹簧(11),弹簧(11)的一端焊接在拉板(10)上,弹簧(11)的另一端焊接在加热器本体(2)上,连接块(7)位于连接槽(6)内的一端开设有定位通孔(12),定位通孔(12)与定位卡块(9)滑动连接,且定位卡块(9)的两端均延伸至定位通孔(12)外。
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