[实用新型]定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产技术，旨在提供一种定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉。该种定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、石墨护板、定向散热块、底保温板、隔热百叶、水冷铜板、水冷铜管、石墨支撑柱、隔热移门、石英坩埚、顶部加热器、侧部加热器。本实用新型的底部水冷具有定向作用效果，只是对DS块进行辐射吸热，而不影响加热器的工作，因此冷热源是完全隔离而无相互作用，避免炉隔热笼提升时加热器功率上升的现象；底保温板和隔热百叶配合实现了连续冷量的可调，符合长晶阶段的散热需求；而加热融化阶段，底部隔热移门完全关闭，起到了一定隔热效果，进一步降低炉热量的散失，实现炉节能效果。

主权项

1.一种定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉，包括炉体，其特征在于，还包括隔热笼、石墨护板、定向散热块、底保温板、隔热百叶、水冷铜板、水冷铜管、石墨支撑柱、隔热移门、石英坩埚、顶部加热器、侧部加热器；所述石英坩埚设置在炉体内，且石英坩埚的周围安装有石墨护板；所述定向散热块通过石墨支撑柱安装于炉体内，围设有石墨护板的石英坩埚通过石墨护板安装在定向散热块的上表面；所述隔热笼吊装在炉体内，围设有石墨护板的石英坩埚设置在隔热笼中；所述顶部加热器、侧部加热器安装在隔热笼和石墨护板之间的空间内，且顶部加热器、侧部加热器分别设置在石英坩埚的上面和侧面；所述炉体内的底部固定有水冷铜板，水冷铜板镶嵌有水冷铜管，且水冷铜管通过炉体底部通设到炉体外；所述隔热移门包括左右对称的两部分移门，移门是不开槽的实心结构，隔热移门设置在水冷铜板的上方，且左右两部分移门分别连接有电机，通过左右的电机进行驱动，能实现自动的开合；所述隔热百叶包括左右对称的两部分百叶，百叶是开有槽孔的开槽结构，隔热百叶设置在隔热移门的上方，且左右两部分百叶分别连接有电机，通过左右的电机进行驱动，能实现左右移动；所述底保温板设置在隔热百叶的上方，底保温板与支撑定向散热块的石墨支撑柱固定，并卡装在隔热炉的底部和隔热笼紧密配合，底保温板为部分开槽结构，能和隔热百叶配合工作，通过隔热百叶的移动，实现槽孔的封闭和打开。