[实用新型]抑制极电源及离子注入机有效
| 申请号： | 201721235944.2 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN207166369U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 奚志有;李东平 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H02M7/02 | 分类号： | H02M7/02;H02M7/06;H02M1/14;H02M7/00;H02M1/32;H05K7/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 郭新娟 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种抑制极电源及离子注入机，涉及半导体元器件生产技术领域，该抑制极电源包括电源箱体和电源电路；电源电路固定设置于电源箱体内；电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；滤波电路的输出端输出直流高压；保护电路包括接地的保护电阻；输出端与保护电阻连接；联锁电路与输出端连接，包括固态继电器，固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。本实用新型实施例提供的抑制极电源，可以提供平滑稳定可靠电压，具有体积小、重量轻、结构紧凑，发热量小的特点，维护简单且使用安全。 | ||
| 搜索关键词： | 抑制 电源 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种抑制极电源，其特征在于，应用于离子注入机，包括：电源箱体和电源电路；所述电源电路固定设置于所述电源箱体内；所述电源电路包括交流升压变压器、整流电路、滤波电路、保护电路和联锁电路；所述交流升压变压器的输入侧与交流电源连接；所述交流升压变压器的输出侧与整流电路、滤波电路依次连接；所述滤波电路的输出端输出直流高压；所述保护电路包括接地的保护电阻；所述输出端与所述保护电阻连接；所述联锁电路与所述输出端连接，包括固态继电器，所述固态继电器联锁控制至少一个其他高压电源。
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