[实用新型]用于产生等离子体的天线结构体和使用所述天线结构体的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201721207728.7 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN207305027U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 朴宇钟;崔正秀 | 申请（专利权）人： | INVENIA有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 李琳,许向彤 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及等离子体产生用天线和使用所述天线的等离子体处理装置，本实用新型实施例中的用于产生等离子体的天线结构体是被施加高频电力并在处理室内生成等离子体的用于产生等离子体的天线结构体，包含以形成至少一个角部的方式弯曲地形成的天线导线，上述天线导线以上述形成角部的部分相对于其他部分位于外侧的方式形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 等离子体 天线 结构 使用 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种用于产生等离子体的天线结构体，所述用于产生等离子体的天线结构体被施加高频电力并在处理室内生成等离子体，其特征在于，包含以形成至少一个角部的方式弯曲地形成的天线导线，所述天线导线以形成所述角部的部分相对于其他部分位于外侧的方式形成。
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