[实用新型]一种光刻胶供应装置有效
| 申请号： | 201721206709.2 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN207249353U | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 杨小雄 | 申请（专利权）人： | 上海众鸿电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 201315 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶供应装置，包括储罐，用于承装光刻胶，其上包括有进口和出口，所述进口设于所述储罐上部，所述出口设于所述储罐下部；输入管，通过所述进口与所述储罐连通，并延伸至所述储罐内与所述储罐的侧壁贴合，向所述储罐内输入光刻胶；以及，输出管，通过所述出口与所述储罐连通，以输出光刻胶。所述输入管包括第一段和第二段，所述第一段和所述第二段拼合为L型，所述第一段为直线形状；所述进口位于所述储罐的上壁面上；所述第一段经由所述进口从所述储罐外延伸至所述储罐内，所述第二段位于所述储罐内且弯向所述储罐的侧壁。以减少最终形成的光刻胶薄层中的气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶供应装置，其特征在于，包括：储罐，用于承装光刻胶，其上包括有进口和出口，所述进口设于所述储罐上部，所述出口设于所述储罐下部；输入管，通过所述进口与所述储罐连通，并延伸至所述储罐内与所述储罐的侧壁贴合，向所述储罐内输入光刻胶；以及，输出管，通过所述出口与所述储罐连通，以输出光刻胶。
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