[实用新型]气体输送装置

摘要

一种气体输送装置，包含入口板、基材、共振板、致动板、压电元件以及出口板依序堆叠，其更包含至少一阀，该阀设置于入口板的入口孔及出口板的出口孔中至少一者。其中，共振板与入口板之间具有一汇流腔室，共振板与致动板间具有一第一腔室，且致动板与出口板间具有一第二腔室；当压电元件驱动致动板时，第一腔室及第二腔室形成一压力差，此时使阀开启，以导引气体由入口板的入口孔进入汇流腔室，流经共振板的中空孔洞进入第一腔室内，并由致动板的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此控制气体的输送。

主权项

1.一种气体输送装置，其特征在于，包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；一致动板，具有一悬浮部、一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；一出口板，具有一出口孔；以及至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔中的至少一者；其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该阀开启，让气体由该入口孔进入该汇流腔室而流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以传输气体的流动。