[实用新型]用于离子束抛光机的多层式格栅板结构有效

专利信息
申请号: 201721169063.5 申请日: 2017-09-13
公开(公告)号: CN207139437U 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 倪磊;倪晋 申请(专利权)人: 成都睿坤科技有限公司
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B41/00
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 代理人: 马碧娜
地址: 610000 四川省成都市双流西*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了用于离子束抛光机的多层式格栅板结构,包括若干层上下排布的板体,所述板体上设置若干上下连通的通孔,板体顶面固定连接若干陶瓷球,所述板体底面设置若干凹槽,所述凹槽的表面为与所述陶瓷球半径相等的球面、且所述凹槽的纵截面呈劣弧状;所述板体顶面的陶瓷球、和板体底面的凹槽一一正对;相邻两块板体之间,下层板体的陶瓷球均放置在上层板体的凹槽内。本实用新型的目的在于提供用于离子束抛光机的多层式格栅板结构,以解决现有技术中格栅板会影响钨丝正常电离的问题,实现杜绝格栅板内部导电、同时确保多层格栅板稳固的目的。
搜索关键词: 用于 离子束 抛光机 多层 格栅 板结
【主权项】:
用于离子束抛光机的多层式格栅板结构,包括若干层上下排布的板体(1),其特征在于,所述板体(1)上设置若干上下连通的通孔(4),板体(1)顶面固定连接若干陶瓷球(2),所述板体(1)底面设置若干凹槽(3),所述凹槽(3)的表面为与所述陶瓷球(2)半径相等的球面、且所述凹槽(3)的纵截面呈劣弧状;所述板体(1)顶面的陶瓷球(2)、和板体(1)底面的凹槽(3)一一正对;相邻两块板体(1)之间,下层板体(1)的陶瓷球(2)均放置在上层板体(1)的凹槽(3)内。
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