[实用新型]一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具有效
申请号: | 201721141453.1 | 申请日: | 2017-09-07 |
公开(公告)号: | CN207375957U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 茆令文;鲍兆臣;张少波;徐翠珍;杨金发;谢加加;唐寿武;陶明山;郭浩凌 | 申请(专利权)人: | 凯盛科技股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 陈俊 |
地址: | 233010 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具,底座上平行间隔设置有一组基片架;每个基片架均包含竖直的立架与倾斜的支撑架,立架与支撑架在顶部相连使基片架在底座上形成直角三角形;所述支撑架铺设有与玻璃基板尺寸相适应的PVC板,PVC板上设有通孔阵列,PVC板的外表面设有耐酸垫片阵列,通孔阵列与耐酸垫片阵列交错间隔分布;使用时,玻璃基板贴覆有抗酸膜的一面朝向PVC板的外表面,利用通孔阵列作为粘贴窗口,采用胶带从PVC板的背面将玻璃基板粘贴在PVC板上,然后送入蚀刻机中进行减薄;即使玻璃基板厚度逐渐变薄,其自身重力也会分布在支撑架上,从而避免减薄过程中玻璃基板因弯曲、晃动造成的破损现象,提高了成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 破片 单面 蚀刻 承载 | ||
【主权项】:
1.一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具,包括底座,底座上平行间隔设置有一组基片架,其特征在于,每个基片架均包含竖直的立架与倾斜的支撑架,立架与支撑架在顶部相连使基片架在底座上形成直角三角形;所述支撑架铺设有与玻璃基板尺寸相适应的PVC板,PVC板上设有通孔阵列,PVC板的外表面设有耐酸垫片阵列,通孔阵列与耐酸垫片阵列交错间隔分布。
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