[实用新型]一种快速拆装机构及立体等离子体源有效
申请号: | 201721116263.4 | 申请日: | 2017-09-01 |
公开(公告)号: | CN207340259U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 陈景春 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型为一种快速拆装机构及立体等离子体源,快速拆装机构用于将工艺套筒与内衬可拆卸地固定连接。快速拆装机构包括销轴、压爪以及支撑环。其中,销轴固定联接在内衬上,压爪具有一个连接端和一个摆动端,压爪的连接端套设在销轴上并能绕销轴转动,通过诸如拨杆的工具来拨动压爪,使得压爪的摆动端能压住或释放工艺套筒的边缘。支撑环套设在销轴上,压爪的连接端由支撑环支撑,使得压爪与内衬之间具有间隙。本实用新型的快速拆装机构在需要将工艺套筒和内衬固定时向一个方向拨动压爪压住工艺套筒的边缘;当需要拆卸工艺套筒时向另一方向拨动压爪释放工艺套筒的边缘,避免了在高温条件下操作产生的危险,提高拆装便利性。 | ||
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【主权项】:
1.一种快速拆装机构,用于将工艺套筒与内衬可拆卸地固定连接;其特征在于,所述快速拆装机构包括:销轴,所述销轴固定联接在所述内衬上;以及压爪,所述压爪的一端套设在所述销轴上并能绕所述销轴转动,使得所述压爪的另一端能压住或释放所述工艺套筒的边缘。
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