[实用新型]退火滴液循环系统

摘要

本实用新型公开了一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，滴液槽的槽底设置有回水管，滴液槽设置有键合线通过通道，滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，水泵输出端接于滴液槽的进水管路，进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，进水泄压管的输出端接于水箱，回水管的输出端接于水箱；位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置。本实用新型可以让退火循环系统处于工作状态下进行过滤装置的更换操作。

主权项

1.一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，所述滴液槽的槽底设置有回水管，所述滴液槽设置有键合线通过通道，所述滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，所述水泵输出端接于滴液槽的进水管路，所述进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，所述进水泄压管的输出端接于水箱，所述回水管的输出端接于水箱；其特征在于，位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，所述主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，所述备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置，所述主过滤管路安装有位于主过滤装置输入口、输出口的控制阀，所述备份过滤管路安装有位于备份过滤装置输入口、输出口的控制阀。