[实用新型]互嵌壳型电极三维探测器

摘要

本实用新型公开了一种互嵌壳型电极三维探测器，互嵌壳型电极三维探测器单元包括矩形沟槽电极，矩形沟槽电极的下方刻蚀有六边形沟槽电极，六边形沟槽电极的截面为矩形沟槽电极的矩形截面切去对角线上的两个边角而形成的六边形，矩形沟槽电极与六边形沟槽电极在Z轴上有重合，矩形沟槽电极与六边形沟槽电极在X、Y平面内重叠的部分为贯穿刻蚀；矩形沟槽电极与六边形沟槽电极在X、Y平面内不重叠的部分形成死区，沟槽电极的中心包围有贯穿刻蚀的中心阴极，沟槽电极与中心阴极之间填充有硅基体；每四个互嵌壳型电极三维探测器单元以镜像方式排列形成一个排列单元，多个排列单元组成阵列。解决了现有技术中探测器死区面积大，增大电学相干性，从而使降低位置分辨率的问题。

主权项

一种互嵌壳型电极三维探测器，其特征在于，互嵌壳型电极三维探测器单元包括矩形沟槽电极(201)，矩形沟槽电极(201)的下方刻蚀有六边形沟槽电极(202)，六边形沟槽电极(202)的截面为矩形沟槽电极(201)的矩形截面切去对角线上的两个边角而形成的六边形，矩形沟槽电极(201)与六边形沟槽电极(202)在Z轴上有重合，矩形沟槽电极(201)与六边形沟槽电极(202)在X、Y平面内重叠的部分为贯穿刻蚀；矩形沟槽电极(201)与六边形沟槽电极(202)在X、Y平面内不重叠的部分形成死区，死区包括第一死区(402)和第二死区(403)，第一死区(402)为矩形沟槽电极(201)与六边形沟槽电极(202)在Z轴上重合的死区，第一死区(402)的底部与六边形沟槽电极(202)的外壁围合成第二死区(403)；矩形沟槽电极(201)与六边形沟槽电极(202)共同构成沟槽电极，沟槽电极的中心包围有贯穿刻蚀的中心阴极(301)，沟槽电极与中心阴极(301)之间填充有硅基体(401)；第一死区(402)、第二死区(403)分别与硅基体(401)连通；中心阴极(301)的表面设有阳极金属接触层(101)，沟槽电极的表面设有阴极金属接触层(103)，阳极金属接触层(101)接正极，阴极金属接触层(103)接负极，每四个互嵌壳型电极三维探测器单元以镜像方式排列形成一个排列单元，多个排列单元组成阵列。