[实用新型]一种超高纯气体纯化装置有效
| 申请号： | 201721048301.7 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN207271059U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 汪文超;严鹏;高春仙;严成强 | 申请（专利权）人： | 昆明鹏翼达气体产品有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/74;B01D53/62;B01D53/46;B01D53/72 |
| 代理公司： | 昆明正原专利商标代理有限公司53100 | 代理人： | 金耀生,于洪 |
| 地址： | 650400 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超高纯气体纯化装置，属于气体纯化技术领域。该装置包括加热器、催化氧化器、水冷却器、第一高效脱氧器、第二高效脱氧器和分子筛吸附器等结构，原料气首先进入加热器加热，然后进入催化氧化器中催化氧化，之后经催化氧化的气体进入水冷却器中与冷却水进行热交换，接着进入第一高效脱氧器或第二高效脱氧器脱除氧气，然后进入分子筛吸附器中吸附，最后进行检测，如果检测合格，则得到超高纯气体，本实用新型结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原理，深度纯化原料气体，除去普通气体中的C5以上烃类组分，达到超高纯级别，满足特殊仪器的用途，实现了超高纯气体的批量化生产，提升净化效率，增加超高纯气体的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 纯化 装置 | ||
【主权项】：
一种超高纯气体纯化装置，其特征在于，包括加热器（1）、催化氧化器（2）、水冷却器（3）、第一高效脱氧器（4）、第二高效脱氧器（5）和分子筛吸附器（6）；加热器（1）的气体出口与催化氧化器（2）的气体入口通过管道相连；催化氧化器（2）的气体出口与水冷却器（3）的气体入口通过管道相连；水冷却器（3）的气体出口分别与第一高效脱氧器（4）、第二高效脱氧器（5）的气体入口通过管道相连；第一高效脱氧器（4）和第二高效脱氧器（5）的气体出口均与分子筛吸附器（6）的气体入口相连；分子筛吸附器（6）的气体出口还通过管道与加热器（1）的气体入口相连；加热器（1）的气体入口还连接有原料气进气管道（20）；分子筛吸附器（6）的气体出口还连接有超高纯气出气管道（21）；第一高效脱氧器（4）的气体入口处设有第一气动阀（18）；第二高效脱氧器（5）的气体入口处设有第二气动阀（19）。
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