[实用新型]一种石英舟温度在线检测监控装置有效
| 申请号： | 201720996758.4 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN207019796U | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 虞文军;向军;李宝飞;刘强 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 李春芳 |
| 地址： | 610225 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟温度在线检测监控装置，包括机架，机架上安装有传送台，传送台上设有用于盛装石英舟的滑台；传送台下方设有用于检测石英舟温度的红外探头；传送台的传送末端设有净化台，净化台上设有自带蜂鸣器的温控仪，且温控仪与红外探头电连接。本实用新型的主要改进点在于，机架，机架上传送台、滑台、红外探头的设置，以及设置于传送台传送末端的净化台、自带蜂鸣器的温控仪的设置，通过温控仪与红外探头电连接实现了在石英舟被传出离线机台时，对其温度进行实时监控，若石英舟的温度高于温控仪的预设值，则蜂鸣器立即发出声音报警，提示生产员工，这样就避免了生产员工烫伤，石英舟/硅片损坏的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 温度 在线 检测 监控 装置 | ||
【主权项】：
一种石英舟温度在线检测监控装置，其特征在于，包括机架(5)，机架(5)上安装有传送台(6)，传送台(6)上设有用于盛装石英舟(7)的滑台(8)；传送台(6)下方设有用于检测石英舟(7)温度的红外探头(1)；传送台(6)的传送末端设有净化台(9)，净化台(9)上设有自带蜂鸣器(4)的温控仪(2)，且温控仪(2)与红外探头(1)电连接。
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