[实用新型]一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构有效
| 申请号： | 201720988895.3 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN207468718U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 姚华光 | 申请（专利权）人： | 安徽普威达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 童强 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了磁控溅射镀膜设备技术领域的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐，所述真空压力罐的左侧横向设置有连接管，所述连接管的左端设置有连接法兰，所述真空压力罐的顶部左右两侧均设置有密封法兰，本实用新型通过电子压力表和控制开关的相互配合，从而控制正空泵的工作，使真空压力罐中的真空压强能够处于一个平稳的状态，保证了磁控溅射装置对零件修复时的工作真空压强，减少因为真空压强不稳而造成修复零件的品质降低，同时和泄压管外壁的电磁泄压阀相互配合，防止真空压力罐因为压强太大而造成的安全事故，提高对修复零件过程中的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空压力罐 修复零件 磁控溅射装置 压强 真空抽气机构 本实用新型 镀层缺陷 真空压强 连接管 磁控溅射镀膜设备 电磁泄压阀 电子压力表 安全事故 工作真空 横向设置 连接法兰 零件修复 密封法兰 左右两侧 泄压管 空泵 外壁 左端 配合 保证 | ||
【主权项】：
一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的真空抽气机构，包括真空压力罐(1)，其特征在于：所述真空压力罐(1)的左侧横向设置有连接管(2)，所述连接管(2)的左端设置有连接法兰(3)，所述真空压力罐(1)的顶部左右两侧均设置有密封法兰(4)，所述密封法兰(4)的顶部设置有真空抽气管(5)，所述真空抽气管(5)的外壁设置有单向密封阀(6)，所述真空抽气管(5)的顶部设置有真空泵(7)，所述真空压力罐(1)的底部左右两侧均设置有支撑柱(8)，所述支撑柱(8)的底部设置有减震安装座(9)，所述真空压力罐(1)的右侧设置有泄压管(10)，所述泄压管(10)的外壁设置有电磁泄压阀(11)，所述真空压力罐(1)的外壁分别设置有电子压力表(12)和控制开关(13)，所述单向密封阀(6)、真空泵(7)、电磁泄压阀(11)和电子压力表(12)均通过控制开关(13)与外部电源连接。
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