[实用新型]靶材清洗无尘室用可移动式排风装置有效

专利信息
申请号: 201720915247.5 申请日: 2017-07-26
公开(公告)号: CN207146729U 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 徐月萍;王国增;李想 申请(专利权)人: 爱发科电子材料(苏州)有限公司
主分类号: F24F3/16 分类号: F24F3/16
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260 代理人: 张欢勇
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种靶材清洗无尘室用可移动式排风装置,包括排风管,所述排风管出风口端与抽风机进风口相连,所述抽风机的出风口与室外连通,所述排风管盘绕在绕架上,所述绕架顶部设有能在导轨组件上滑动的滑轮组,所述导轨组件固定于无尘室的天花板上。本实用新型通过抽风机以及排风管的配合,针对挥发气体进行直接抽排,将挥发气体通过排风管直接抽出无尘室,排风时间较短,排风力度更大,通过使用绕架能够将排风管绕在绕架上,不会散乱堆在地上,再通过滑轮组和导轨组件的配合,使得在使用时能够随用随拉,且针对排放源的不用随时更换位置,在抽排风时更有针对性,抽排效果更佳,方便快捷。
搜索关键词: 清洗 无尘室用可 移动式 装置
【主权项】:
一种靶材清洗无尘室用可移动式排风装置,其特征在于:包括排风管(1),所述排风管(1)出风口端与抽风机(2)进风口相连,所述抽风机(2)的出风口与室外连通,所述排风管(1)盘绕在绕架(3)上,所述绕架(3)顶部设有能在导轨组件(4)上滑动的滑轮组(5),所述导轨组件(4)固定于无尘室的天花板上。
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