[实用新型]一种自由位置风速计有效
| 申请号： | 201720900808.4 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN207067168U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 彭卫平 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01P5/00 | 分类号： | G01P5/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自由位置风速计，属于半导体制造技术领域，适用于检测涂胶机台的涂胶腔室腔里的气流状态，自由位置风速计包括第一导轨，所述第一导轨的两端分别设置有第一固定装置和第二固定装置，所述第一固定装置和所述第二固定装置用以可拆卸地将所述第一导轨固定在所述涂胶腔室的内壁上；第二导轨，垂直且可滑动地设置于所述第一导轨上；固定支架，可滑动地设置于所述第二导轨上；风速传感器，水平设置于所述固定支架上。上述技术方案的有益效果是能够快速准确的测量涂胶腔室内每一点的风速，方便工作人员及时调整涂胶腔室内气流状态，以保证涂胶机对晶圆进行涂胶时，晶圆表面具有均匀且厚度适宜的光刻胶涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由 位置 风速计 | ||
【主权项】：
一种自由位置风速计，适用于检测涂胶机台的涂胶腔室里的气流状态，其特征在于，所述自由位置风速计包括：第一导轨，所述第一导轨的两端分别设置有第一固定装置和第二固定装置，所述第一固定装置和所述第二固定装置用以可拆卸地将所述第一导轨固定在所述涂胶腔室的内壁上；第二导轨，垂直且可滑动地设置于所述第一导轨上；固定支架，可滑动地设置于所述第二导轨上；风速传感器，水平设置于所述固定支架上。
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