[实用新型]一种基于激光诱导等离子体光谱技术的高效探测装置

摘要

本实用新型公开了一种基于激光诱导等离子体光谱技术的高效探测装置，包括机架、光路主体和样品台，机架用来固定样品台，支撑光路主体；光路主体包括LIBS光谱激发光路和光谱采集光路，其中激发光路主要包括激光入口窗、激光反射镜和聚焦透镜，透镜焦点和采集光路中椭球面反射镜中的一个焦点重合；采集光路主要由椭球面反射镜和光纤组成，待测样品表面被激发产生等离子体信号光后，将信号光从一个焦点汇聚到另一个焦点，并耦合进入光纤，输送到光谱仪；样品台用来固定和移动样品。本实用新型采用椭球面反射镜来收集等离子体信号，在避免传统透镜采集系统色差问题的同时，对光谱信号强度具有量级的提升，特别适用于微区分辨光谱信号和紫外信号的探测。

主权项

一种基于激光诱导等离子体光谱技术的高效探测装置，其特征在于：包括机架、光路主体和样品台，其中，所述机架用来固定样品台，支撑光路主体；所述光路主体包括激光诱导等离子体光谱技术(LIBS)光谱激发光路和光谱采集光路，其中激光诱导等离子体光谱技术(LIBS)光谱激发光路包括激光入口窗、激光反射镜和聚焦透镜，透镜焦点和采集光路中椭球面反射镜中的一个焦点重合，当样品表面移动到透镜焦点上时，也位于椭球面反射镜的一个焦点；光谱采集光路主要由椭球面反射镜和光纤组成，待测样品表面被激发产生等离子体信号光后，将信号光从一个焦点汇聚到另一个焦点，并耦合进入光纤，输送到光谱仪；所述样品台用来固定和移动样品，通过机械限位和光谱信号反馈调节样品高度，实现该装置自动调焦。