[实用新型]一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置

摘要

一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，包括底板、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组、推动气缸、旋转电机和机械手，Y轴模组沿Y方向固定在底板上，所述X轴模组沿X方向设置，且X轴模组的一端端部架设在Y轴模组上方，以使得X轴模组在Y轴模组上可沿Y方向移动，推动气缸设置在X轴模组的侧面并可在X轴模组上沿X方向移动，旋转电机固定在推动气缸下端并可在推动气缸的带动下实现Z方向的移动，机械手固定在旋转电机下端的旋转轴上，以使得机械手可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转，本实用新型能够同时实现XYZθ方向的运动，且满足了高精度的对位生产需求，还提高了生产效率，减少了人工劳动强度。

主权项

一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，包括底板、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组、推动气缸、旋转电机和机械手，所述Y轴模组沿Y方向固定在底板上，所述X轴模组沿X方向设置，且X轴模组的一端端部架设在Y轴模组上方，以使得X轴模组在Y轴模组上可沿Y方向移动，所述推动气缸设置在X轴模组的侧面并可在X轴模组上沿X方向移动，所述旋转电机固定在推动气缸下端并可在推动气缸的带动下实现Z方向的移动，所述机械手固定在旋转电机下端的旋转轴上，以使得机械手可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转。