[实用新型]一种基于原子力探针的显微镜头与样品台锁定系统

摘要

本实用新型公开了一种基于原子力探针的显微镜头与样品台锁定系统，包括显微镜头、激光器、四象限探测器、探针悬臂、原子力探针、样品台、控制单元；本实用新型利用原子力探针，通过原子间相互作用力来锁定显微镜镜头与样品台的相对位置，系统简单、成本较低且容易搭建。本实用新型可以克服镜头与样品台相对位置变化造成的图像失真，提高超分辨显微系统的工作精度。

主权项

一种基于原子力探针的显微镜头与样品台锁定系统，包括显微镜头、激光器、四象限探测器、探针悬臂、原子力探针、样品台、控制单元；激光器发射的光束发射至探针悬臂的末端，经过反射之后光斑被四象限探测器收集；四象限探测器接收激光的光斑位置信号，将位置信号送给控制单元；控制单元实时读取来自于四象限探测器的光斑位置信号，并将该位置与预先确定的锁定位置的光斑位置进行对比计算，根据计算结果对样品台的位置进行补偿调整；其特征在于，所述激光器为红外波段激光器，选用该波段的激光器可以保证装置在完成镜头与样品锁定功能的同时，不对超分辨显微系统中的成像光束造成较大的影响。