[实用新型]一种环保的等离子光阻去除机

摘要

本实用新型公开了一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体，所述光阻机本体内部通过螺栓固定连接有真空罐，所述真空罐的内部通过绝缘架设置有阴极置物板，所述进气管靠近真空罐的一侧设置有电磁阀，所述真空罐远离阳电极的一侧设置有排气管，所述排气管远离真空罐的一侧设置有过滤器，所述过滤器位于过滤盒的内部，所述高压气罐位于气罐盒的内部，本实用新型设置了可净化真空罐内含有杂质的气体装置，避免了传统的光阻去除机在将真空罐气体直接排出会对环境及人体产生危害的问题，设置了可放置小型高压气罐的装置，使光阻机便于移动和携带，降低了移动重量，更适于需要频繁移动工作位置的条件下使用。

主权项

一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体（11），其特征在于：所述光阻机本体（11）内部通过螺栓固定连接有真空罐（10），所述真空罐（10）的内部通过绝缘架（13）设置有阴极置物板（12），且真空罐（10）的顶部设置有阳电极（8），所述真空罐（10）通过进气管（6）连接有高压气罐（5），所述进气管（6）靠近真空罐（10）的一侧设置有电磁阀（7），所述真空罐（10）远离阳电极（8）的一侧设置有排气管（3），所述排气管（3）远离真空罐（10）的一侧设置有过滤器（1），所述过滤器（1）远离排气管（3）的一侧设置有气泵接口（14），所述真空罐（10）的上方分别设置有气罐盒（4）和过滤盒（2），所述过滤器（1）位于过滤盒（2）的内部，所述高压气罐（5）位于气罐盒（4）的内部，所述光阻机本体（11）的前表面通过铰链旋合连接有密封门（9），且光阻机本体（11）的中间位置处设置有MVC‑196光阻机控制器（16），所述光阻机本体（11）远离密封门（9）的一侧上下分别设置有压力表（17）和电源开关（15），所述电磁阀（7）、阳电极（8）、绝缘架（13）、MVC‑196光阻机控制器（16）和压力表（17）均与电源开关（15）电性连接。