[实用新型]一种真空溅镀靶材的冷却装置有效
| 申请号： | 201720716130.4 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN207331048U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 丛峰 | 申请（专利权）人： | 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;胡秋婵 |
| 地址： | 215151 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空溅镀靶材的冷却装置，包括冷却基板(100)，所述冷却基板(100)内设有连通至进水口(104)的第一水道组、连通至出水口(105)的第二水道组、及连通所述第一、第二水道组的第三水道组，所述进水口(104)设有进水接头(200)，所述出水口(105)设有出水接头(300)。本实用新型提供的真空溅镀靶材的冷却装置，避免加工弹性震刀，减少焊缝泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 溅镀靶材 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空溅镀靶材的冷却装置，包括冷却基板(100)，其特征在于：所述冷却基板(100)内设有连通至进水口(104)的第一水道组、连通至出水口(105)的第二水道组、及连通所述第一、第二水道组的第三水道组，所述进水口(104)设有进水接头(200)，所述出水口(105)设有出水接头(300)。
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