[实用新型]一种应用于金刚线切割工艺的硅片脱胶装置有效
| 申请号： | 201720694204.9 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN206780702U | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 任丽;褚世君 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙)12210 | 代理人： | 赵凤英 |
| 地址： | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种应用于金刚线切割工艺的硅片脱胶装置。该脱胶装置由三个独立部分组成，按照清洗次序依次为热水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽；其中，所述的水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽的尺寸相同，均为650mm×450mm×450mm；热水喷淋槽和冷水喷淋槽均在各自的4个内侧板上设置有总计80‑100个可上下扫动式喷淋头，底部设置直径6厘米排水孔。本实用新型能在保证硅片脱胶质量的同时显著降低脱胶成本，按月产100万片硅片计算，每月可节约脱胶成本1万元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 金刚 切割 工艺 硅片 脱胶 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于金刚线切割工艺的硅片脱胶装置，其特征为该脱胶装置的组成按照清洗次序依次为热水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽；其中，所述的水喷淋槽、超声波酸性脱胶剂槽和冷水喷淋槽的尺寸相同，均为650mm×450mm×450mm；超声波酸性脱胶剂槽底部分别设置直径6厘米排水孔和进水孔；热水喷淋槽和冷水喷淋槽均在各自的4个内侧板上设置有总计80‑100个扫动式喷淋头，底部设置直径6厘米排水孔。
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