[实用新型]一种超高温蒸发源有效
| 申请号： | 201720662718.6 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206916211U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 张德雨;张家志;柏佳顺;谢斌平;欧宏伟;赵嘉峰 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201906 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种超高温蒸发源，包括加热丝、坩埚、保温炉、降温模块；所述坩埚置于所述保温炉内部；所述加热丝包括第一加热段和第二加热段，所述第一加热段与所述第二加热段以双螺旋结构环绕于所述坩埚外；所述加热丝还包括支撑脚，所述支撑脚穿过所述降温模块向外延伸并接电，所述降温模块用于阻隔所述保温炉内部的热量沿所述支撑脚延伸方向向外部传递。本实用新型的有益效果是加热丝采用对称双螺旋结构，具有两个支撑脚，拥有良好的支撑作用，另外加热丝产生的磁场可相互抵消，避免磁场对某些镀膜效果造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高温 蒸发 | ||
【主权项】：
一种超高温蒸发源，其特征在于：包括加热丝、坩埚、保温炉、降温模块；所述坩埚置于所述保温炉内部；所述加热丝包括第一加热段和第二加热段，所述第一加热段与所述第二加热段以双螺旋结构环绕于所述坩埚外；所述加热丝还包括支撑脚，所述支撑脚穿过所述降温模块向外延伸并接电，所述降温模块用于阻隔所述保温炉内部的热量沿所述支撑脚延伸方向向外部传递。
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