[实用新型]铜蚀刻液预处理系统

摘要

一种铜蚀刻液预处理系统，包括依次连通且相邻设置的反应池、压滤机及滤芯过滤设备，反应池用于铜蚀刻液与药剂发生化学反应，压滤机用于将反应池中铜蚀刻液与药剂发生化学反应后的溶液过滤以得到滤液，滤芯过滤设备用于将压滤机中的滤液再次过滤以得到预处理后的铜蚀刻液，滤芯过滤设备包括壳体、收容于壳体内的滤芯及出液管道，壳体设有进液口和出液口，进液口用于压滤机中的滤液进入壳体，出液管道安装于出液口，出液管道的管壁靠近出液口的位置设有取样口。如此先后通过压滤机和滤芯过滤设备两次过滤，避免了采用压滤机一次过滤导致铜蚀刻液工作液不纯的问题，且取样口便于随时检查铜蚀刻液是否符合标准，进而提高了铜蚀刻液的纯度。

主权项

一种铜蚀刻液预处理系统，其特征在于，包括依次连通且相邻设置的反应池、压滤机及滤芯过滤设备，所述反应池用于铜蚀刻液与药剂发生化学反应，所述压滤机用于将所述反应池中所述铜蚀刻液与药剂发生化学反应后的溶液过滤以得到滤液，所述滤芯过滤设备用于将所述压滤机中的滤液再次过滤以得到预处理后的铜蚀刻液，所述滤芯过滤设备包括壳体、收容于所述壳体内的滤芯及出液管道，所述壳体设有进液口和出液口，所述进液口用于所述压滤机中的滤液进入所述壳体，所述出液管道安装于所述出液口，所述出液管道的管壁靠近所述出液口的位置设有取样口。