[实用新型]一种双侧加热式真空炉有效
| 申请号： | 201720616320.9 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN206974155U | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 林茂昌;林志彦;刘文松 | 申请（专利权）人： | 上海金克半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/04 | 分类号： | F27B14/04;F27B14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201108 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双侧加热式真空炉，包括真空炉炉体，真空炉炉体底部设置有加热结构，所述加热结构包括受热体，所述多层受热体安装有托盘内，所述托盘外侧左右对称设置有多个电加热管；所述受热体为多层受热体；所述托盘为U型托盘；所述托盘外侧左右对称设置有4个电加热管；所述电加热管通过连接件固定在真空炉炉体的侧壁上；本实用新型提供一种双侧加热式真空炉，结构新颖，相较于传统真空炉早期底部加热结构适用于单层受热体，然而对于多层受热体热能传导慢，受热不均匀；本实用新型采用两侧加热，热能更均匀，传导快，效率提升多倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 真空炉 | ||
【主权项】：
一种双侧加热式真空炉，包括真空炉炉体，其特征在于，真空炉炉体底部设置有加热结构，所述加热结构包括多层受热体，所述多层受热体安装有托盘内，所述托盘外侧左右对称设置有多个电加热管，所述托盘为U型托盘，所述电加热管通过连接件固定在真空炉炉体的侧壁上。
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