[实用新型]多点传感激光扫描加工系统

摘要

本实用新型涉及一种多点传感激光扫描加工系统，包括准直激光光源，振镜系统，远心消色差扫描物镜，照明光源，同轴指示光源系统，CCD成像系统，旁轴校正光源，红外测温单元，功率检测单元和控制系统；本实用新型将同轴指示加工光点，旁轴校正自动对焦，CCD成像系统，紫外消色差，测温仪，功率计等六方面的功能模块整合到激光加工系统中，对激光加工过程中出现的定位精准，加工功率恒定，加工温度稳定，远心消色差，多波段混合色光聚焦等问题进行了系统性的解决，使得改激光加工系统更加智能，达到精准控制加工的目的，满足高精度激光加工的需求。

主权项

一种多点传感激光扫描加工系统，包括准直激光光源，振镜系统，扫描物镜，照明光源，其特征在于，包括同轴指示光源系统，CCD成像系统，旁轴校正光源和控制系统；所述扫描物镜为远心消色差扫描物镜，用于将多种不同波长的光进行聚焦到一点，以及对不同角度入射的光线实现远心消色差；所述同轴指示光源系统包括指示光源和光同轴器，所述光同轴器用于使指示光源的光与准直激光光源的光同轴；所述指示光源的光与准直激光光源的光，通过所述振镜系统后、再通过所述远心消色差扫描物镜聚焦到待加工工件表面，所述同轴指示光源在待加工工件表面形成加工光点；所述照明光源位于所述远心消色差扫描物镜下方，其发出的照明光照射在待加工工件表面；所述旁轴校正光源位于待加工工件的侧上方，其出射光方向多维度可调，并在待加工工件表面形成校正光点；所述待加工工件表面的多波长反射光透过所述远心消色差扫描物镜、振镜系统后被所述CCD成像系统捕捉，所述CCD成像系统捕捉的图像送到控制系统运算处理；当所述CCD成像系统捕捉到的加工光点与校正光点不重合时，所述控制系统通过调整加工平台的高度，使加工光点与校正光点保持实时重合。