[实用新型]微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置

摘要

本实用新型公开了一种微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，包括双层的机架以及设置在机架上的显微干涉测量单元、玻璃盘回转调整单元、微型滑块固定调节单元与加载单元，所述机架用于支撑和固定各个部件。利用紧定螺钉对玻璃盘进行调平，将微型滑块与玻璃盘接触，同步带轮带动玻璃盘旋转，通过在显示器上显示的接触区光学图像中是否出现干涉条纹来判定两接触表面是否完全平行。根据预先标定的在特定倾角条件下各压电陶瓷致动器所需的工作电压来对压电陶瓷驱动电源进行快速设定，进而使玻璃盘在压电陶瓷致动器作用下发生偏转，因而快速得到所需要的接触倾角。倾角大小及方向的调节效率和精度均得到很大的提升。

主权项

微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，包括双层的机架(5)以及设置在机架(5)上的显微干涉测量单元(3)、玻璃盘回转调整单元(2)、微型滑块固定调节单元(1)与加载单元(4)，所述机架(5)用于支撑和固定各个部件；所述玻璃盘回转调整单元(2)设置在机架(5)上层表面，玻璃盘回转调整单元(2)包括轴承(207)，轴承(207)的内外表面分别设置轴承内套(209)、轴承外套(206)，轴承外套(206)外凸肩处均布6块压电陶瓷致动器(211)用来对整个单元进行偏转调节，轴承内套(209)内凸肩处放置碟簧(205)，碟簧(205)向上依次设置玻璃盘(201)、和玻璃盘压盘(203)，玻璃盘压盘(203)位于玻璃盘(201)上圆周面，玻璃盘(201)上下边缘均布碟簧(205)；紧定螺钉(202)设置在玻璃盘压盘(203)内用于对玻璃盘(201)进行预固定和初步调平；同步带轮(208)通过轴承(207)与玻璃盘(201)连接从而带动玻璃盘(201)转动；所述显微干涉测量单元(3)设置在机架(5)底层且位于玻璃盘(201)的下方；所述微型滑块固定调节单元(1)设置在玻璃盘(201)上面，所述微型滑块固定调节单元(1)包括滑块座(101)，滑块座(101)底部固定微型滑块(103)，微型滑块(103)底部与两侧均设置保护垫片(104)，微型滑块(103)与保护垫片(104)之间通过螺钉(105)固定；滑块座(101)的上部设置有柔性多自由度连接机构，柔性多自由度连接机构上部与压板(401)下端连接；所述加载单元(4)包括压板(401)，压板(401)的一端固定在压板支座(402)的轴承座(404)上轴承连接，压板(401)的中部竖直设置有平衡机构(403)，平衡机构(403)下方设置有弹簧(405)，弹簧(405)位于压板支座(402)与压板(401)之间；所述压板支座(402)连接到机架(5)上层表面并处于中轴线上。