[实用新型]一种基于光学反馈的平面气浮工作台

摘要

本实用新型公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台，包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元；首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜，使上面板悬浮在空中并能自由移动；然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作，使上面板快速横向或纵向蠕动；最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线，并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置，从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间，提高平台的相应速度和定位精度。本方案结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。

主权项

一种基于光学反馈的平面气浮工作台，其特征在于，包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元；所述红外传感器组和气浮单元均安装在下面板上，所述驱动单元安装在上面板上，所述上面板通过气浮单元悬浮在空中，通过驱动单元在工作范围内运动；所述驱动单元包括横向线圈、纵向线圈、横向永磁铁以及纵向永磁铁；所述横向线圈和纵向线圈均安装在上面板底部，并与控制单元连接；所述横向永磁铁和纵向永磁铁安装在下面板上，并使横向永磁铁和纵向永磁铁的磁场范围覆盖横向线圈和纵向线圈；所述气浮单元设为气浮轴承，分别固定在下面板的四个角上，并与控制单元连接，气浮轴承通过产生气体刚膜使上面板悬浮起来；所述红外传感器组包括红外收发器，分别固定在下面板的四个方向及中部上，与控制单元连接并实时反馈上面板的位置信息；所述控制单元包括用于驱动横向线圈的横向驱动器、驱动纵向线圈的纵向驱动器、以及用于处理红外数据图像的图形处理器；所述横向驱动器与横向线圈连接，纵向驱动器与纵向线圈连接，所述图形处理器与红外收发器连接。