[实用新型]超高真空磁耦合式密封有效
申请号: | 201720461872.7 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN206918256U | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 钱政羽;钱涛;吴其涛 | 申请(专利权)人: | 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | F16J15/53 | 分类号: | F16J15/53 |
代理公司: | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32297 | 代理人: | 陆明耀 |
地址: | 215122 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种超高真空磁耦合密封,该结构具有两个同轴且相互隔离的安装槽,两个所述安装槽中设置有磁性连接并同步转动的主动旋转机构和从动旋转机构,所述从动旋转机构所在的壳体的一端设置有用于超高真空密封的法兰。本实用新型设计精巧,结构简单,通过将壳体制成两个隔离开的空间,并利用磁体和磁体的磁力吸引来使位于两个隔离空间内的旋转装置联动,从而在安装到超高真空设备时,既能够通过真空室外部的动力源驱动处于真空室内部的旋转机构,同时又用静密封取代传统的动密封形式,法兰密封面可以制作成多种真空密封方式,使得真空密封更加可靠。 | ||
搜索关键词: | 超高 真空 耦合 密封 | ||
【主权项】:
超高真空磁耦合式密封,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)具有两个共轴且相互隔离的安装槽(2),两个所述安装槽(2)中设置有磁性连接并同步转动的主动旋转机构(4)和从动旋转机构(5),所述从动旋转机构(5)所在的壳体(1)的一端设置有用于超高真空密封的法兰(6)。
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