[实用新型]一种超纯氮除氢的装置

摘要

本实用新型涉及一种超纯氮除氢的装置，其包括主换热器、精馏塔、过冷器、膨胀机、第一冷凝蒸发器和第二冷凝蒸发器以及用于连接各设备以输送相应介质的空气管道、富氧液空管道、富氧气体管道、液氮管道、气化氮气管道、氮气管道、回流液氮管道。与现有技术相比，本实用新型通过对精馏系统的改进，从精馏塔的中上部以抽取液氮然后气化的方式提供超纯氮气，该方法比使用贵金属催化法更经济，投资更少，也更安全，通过本装置制取的超纯氮气中氢气含量很低，在空气中含氢气为1ppm时，超纯氮产品气中的氢气含量≤20ppb，满足6N中对氢气的要求。

主权项

一种超纯氮除氢的装置，其特征在于，包括如下设备：主换热器(20)、精馏塔(24)、过冷器(23)、第一冷凝蒸发器(25)和第二冷凝蒸发器(26)；以及如下管道：用于将冷却的空气送至主换热器(20)以及从主换热器(20)送至精馏塔(24)的空气管道(1)；用于将富氧液空从精馏塔(24)送至过冷器(23)、以及从过冷器(23)送至第一冷凝蒸发器(25)的富氧液空管道(2)；用于将富氧气体从第一冷凝蒸发器(25)送至过冷器(23)、以及从过冷器(23)送至主换热器(20)的富氧气体管道(3)；用于将液氮从精馏塔(24)送至第二冷凝蒸发器(26)的液氮管道(4)；用于将气化氮气从第二冷凝蒸发器(26)送至主换热器(20)的气化氮气管道(5)；用于将氮气从精馏塔(24)分别送至第一冷凝蒸发器(25)和第二冷凝蒸发器(26)的氮气管道(6)；用于将回流液氮从第一冷凝蒸发器(25)和第二冷凝蒸发器(26)汇总送至精馏塔(24)的回流液氮管道(7)。